技术编号：21314400
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体工艺材料可靠性评估技术领域，具体涉及一种键合金丝可靠性评价方法。背景技术现在产品都需要进行可靠性试验，提高产品的可靠性，进行加速寿命试验是评估方法之一。加速寿命试验只对元器件、材料和工艺方法进行，用于确定元器件、材料及生产工艺的寿命。其目的不是暴露缺陷，而是在不改变产品失效机理的前提下，通过提高对产品所施加的应力水平来加速产品性能的退化，收集产品在较高应力条件下性能参数的退化数据，分析得到产品在正常工作应力条件下的可靠性信息(寿命/失效率)。然而目前只有针对半导体集成电路成品的加...
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