光扫描装置的制作方法技术资料下载

技术编号:21359243

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种光扫描装置。背景技术一直以来,公知一种光扫描装置,该光扫描装置利用扭杆从两侧支撑镜部,通过使镜部以扭杆为轴进行摆动,来由镜部使入射光偏转并进行扫描。这样的光扫描装置例如通过加工soi(silicononinsulator)晶片来形成。光扫描装置整体呈芯片状,并以包围外周的方式设有固定框,在该固定框设有用于与外部装置电连接的端子等(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2009-217093号公报发明内容发明所要解决的课题如上所述,在光扫描装置的固定框设有端子...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 孙老师:1.机机器人技术 2.机器视觉 3.网络控制系统
  • 杨老师:物理电子学