技术编号:21419136
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空管道清洁技术领域,尤其涉及一种真空管道清洁装置。背景技术拉晶过程中产生大量氧化物,大量氧化物随气体经真空泵带走,部分会附着在真空管道壁上,停炉后需要人工手动清理,清理不彻底会导致后期产品不稳定;而清理真空管道壁上的氧化物一般均采用人工清洁,清洁状况难以控制,并且影响周围环境的洁净度及操作人员身体健康。实用新型内容为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种真空管道清洁装置,解决真空管道清理不彻底以及人工清理影响周围环境的洁净度及操作人员身体健康的问题。为了达到上述目的,本实用新型采...
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