技术编号：21422556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及超高真空泵技术领域，尤其涉及一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置。背景技术超高真空泵一般由机械泵与分子泵复合而成，分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长，故需要配备前级泵，一般使用机械泵作为前级泵。目前机械泵与分子泵组成的超高真空泵由于其转速较快，泵体抖动较为严重，仅仅依靠其本身无法稳定的进行工作。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在...
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