技术编号：21588807
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种可调出光波长的新型底发射垂直腔面发射激光器。背景技术垂直腔面发射激光器(vertical-cavitysurface-emittinglaser，vcsel)，是指出射光方向垂直于衬底表面的半导体激光器。由于可以在衬底上并列集成多个激光器，因而在新的光电子领域中起着越来越重要的作用。与传统的边发射激光器(edgeemittinglaser，eel)不同，vcsel是光从垂直于半导体衬底表面方向出射的一种新型半导体激光器，其具有单纵模、发散角小、圆形对称光...
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