技术编号:21639488
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种二氯硅烷生产设备技术领域,更具体地说,它涉及一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法。背景技术二氯硅烷的尾气处理系统,用于处理生产二氯硅烷反应后生生成的尾气。目前,市场上的二氯硅烷的尾气处理系统,它包括反应部分以及与反应部分连接的尾气处理部分。传统的二氯硅烷的尾气处理系统,在尾气进行处理时,通常采用集中处理的方式,不能保证对尾气的实施处理,因此在进行实施处理的情况下,如何在反应的过程中进行尾气的处理,也是目前存在的问题。发明内容针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种反应效果...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。