技术编号:21651474
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池衬底镀膜技术领域,尤其涉及一种薄膜太阳能电池吸收层的制备方法及镀膜设备。背景技术薄膜太阳能电池的研究近年来发展迅速,已成为太阳能电池领域中最活跃的方向,而其中铜铟镓硒尤为引人注目,是太阳能电池材料体系中能够同时兼顾高效率和低成本的、最好的和最现实的体系。目前大部分的铜铟镓硒电池都是利用真空蒸镀的方式生产的,一般称为共蒸镀。共蒸镀镀膜是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化成粒子,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。现有通过共蒸镀沉积的光吸收层...
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