技术编号:21684855
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种氧化物薄膜晶体管及其制作方法。背景技术随着显示技术的发展,液晶显示面板(liquidcrystaldisplay,lcd)因其轻便、低辐射等优点越来越受到人们的欢迎。液晶显示面板包括对置的彩色滤光片基板(colorfilter,cf)和薄膜晶体管阵列基板(thinfilmtransistorarraysubstrate,tftarray)以及夹置在两者之间的液晶层(liquidcrystallayer,lclayer)。非晶硅(a-si)是目前普遍用于制作阵...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。