技术编号:21843409
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及湿度传感领域,具体涉及一种表面等离激元共振湿度传感器。背景技术湿度传感器被广泛地应用于农业生产、工业检测与控制、气象检测、医疗等各个领域。湿度传感器的小型化及微型化和高灵敏度是当前的趋势。现有的湿度传感器主要有电阻式、电容式、压阻式等。器件尺寸相对较大、灵敏度相对较低。难以满足在微型设备上的高灵敏湿度探测。发明内容为解决以上问题,本发明提供了一种表面等离激元共振湿度传感器,包括衬底、聚酰亚胺层、贵金属薄膜、贵金属块,聚酰亚胺层置于衬底上,聚酰亚胺层中设有孔洞,贵金属薄膜置于聚酰亚胺层的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。