技术编号:21850864
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属涉及废气吸收处理技术领域,具体涉及一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置。背景技术在多晶硅生产过程中,由于生产需要,各工艺装置(如提纯装置、还原尾气干法回收装置、冷氢化装置、还原装置、罐区等)都不可避免的会排放一定量的尾气(也称为废气),其主要成分为:sicl4、sihcl3、sih2cl2、hcl、h2、n2。随着多晶硅的生产规模的不断扩张,尾气排放量也随之激增,一方面会大量浪费尾气中的氯硅烷资源,另一方面由于氯硅烷具有污染性,如外泄会对环境造成严重污染,因此需要对多晶硅生产过程中形...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。