技术编号:22005649
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型具体涉及一种伸缩式检测镀膜厚度的装置。背景技术现有的检测镀膜厚度的装置,简易的结构是将晶振片支撑起来送入腔体进行镀膜,将传感器引线引出腔体外进行厚度监测,该结构弊端在于某一时段无论是否需要做膜厚监测,只要设备在进行镀膜工艺,那么晶振片上就会被镀膜,晶振片损耗太快;现有的检测镀膜厚度的装置,也有为延长晶振片使用寿命对晶振片进行了加盖保护的,该结构的晶振片保护盖通过气动装置驱动打开或关闭,其弊端在于气动装置在腔体内部,而腔体内部在做工艺时是真空状态,如果气动装置出现漏气,会影响腔体内部工艺...
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