技术编号：22047193
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方案涉及用于以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统和方法。背景技术在一些等离子体处理系统中，射频(rf)信号被提供至等离子体室内的电极。rf信号被用于在等离子体室内产生等离子体。等离子体被用于各种操作，例如清理放置在下电极上的衬底、蚀刻衬底等。在利用等离子体处理衬底期间，rf信号是脉冲式的。本发明中所描述的实施方案就是在该背景下产生的。发明内容本发明的实施方案提供了用于以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统、设备、方法和计算机程序。应理解，本发明的实施方案能够以各种方...
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