技术编号:22074764
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种加热装置,尤其是涉及一种用于在平面靶材加热过程中可进行多温区加热的装置。背景技术目前,平面绑定靶材的生产过程中,由于材料性能不同,对升温速度和降温速度有不同的要求控制,而传统绑定台在某一固定温度下运行,效率低,产能受限。发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种平面靶材区分加热装置,其能够同时多种不同温度需求的加料进行加温,从而极大的提高了工作效率。本实用新型的目的是这样实现的:一种平面靶材区分加热装置,所述装置包含有机箱,所述机箱的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔,所述...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。