技术编号:22081714
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及脑机接口领域的柔性生物传感器制备,具体地,涉及一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极的微加工制备方法,是通过将超薄柔性记录电极与ld耦合su-8光波导结构进行光电集成来实现制备的。背景技术在过去的几年里,微机电系统技术和光电子技术的飞速发展使得硅基神经光电极的电生理记录和光刺激性能得到空前的提高。一方面,先进的电子束曝光技术使得电极点的记录空间分辨率得到极大的提高;另一方面,通过集成光波导、激光二极管6和微型led等,硅基神经光电极的刺激空间分辨率也得到了极大的提高。然而,硅基神经光电...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。