技术编号：22333684
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体生产领域，具体涉及一种半导体设备点火控制系统。背景技术生产半导体的过程中，需要高温使原材料氧化，所以要用到燃气燃烧控制系统，现有燃气燃烧控制系统设计单一，针对重要部分只进行监控，但对燃烧部分的燃烧状况没有检测和控制，如果燃气与助燃物没有按照比例进行配比，不仅浪费燃料而且燃烧也不充分。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种半导体设备点火控制系统，以解决现有技术中燃气燃烧不充分，浪费原料的问题。所述的一种半导体设备点火控制系统，包括点火装置、燃气支路和助燃物支路，所述燃气支路和助...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。