技术编号：22393677
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及气浮垫技术领域，尤其涉及一种气浮垫结构。背景技术静压气浮技术是光刻设备精密运动部件的核心技术。通常在精密运动中通过静压气浮技术，运动结构与承载面之间会形成一层几十微米以下的空气薄膜使运动部件在运动过程中会与承载面隔离，这种非接触式承载相比传统的机械导轨具有摩擦力极低，隔热隔振优势，另外在半导体设备对污染控制异常严格，减少了机械导轨与导轨面直接接触摩擦产生的颗粒污染。通常这种静压气浮技术是通过气浮垫或者气浮块来实现的。现有技术中的气浮垫一般包括小孔节流气浮垫和环面节流气浮垫。但是小...
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