技术编号：22459529
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种石墨盘,以生长更多外延片，提高产能，并降低备件损耗成本。背景技术led外延晶圆（或外延片）一般是通过金属有机化合物气相沉积（metal-organicchemicalvapordeposition，简称mocvd）获得，针对于led领域的aixtrong5系列机台，其反应室内部具有石墨盘,该石墨盘本身内部是设置有气道的，通过往气道中通入氮气和氢气，每个气道对应mfc控制气体流量，使安装在石墨盘上方的satellitedisk旋转，配合石墨盘本身的旋转，从...
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