技术编号：22576374
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及半导体技术领域，特别涉及一种具有共振腔的等离激元波导传感器及其使用和制备方法。背景技术目前高灵敏度的光学传感器在生化医疗、环境监测、基础物理量测量、环境与结构监测、物联网、国家安全等方面有重要的应用，与传统的电子传感器相比，光学传感器具有抗电磁干扰、精度高、响应快、稳定性好等优势。并且，光纤传感技术是光学传感器中最具代表性的技术，因抗电磁干扰能力强、成本低、响应速度快等优点，在轨道交通/油气储罐火灾检测、桥梁健康监控、重大装备状态检车等应用场景得到了广泛的应用。随着制备技术的不断发展，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。