技术编号:22619016
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请属于半导体元件制备领域,特别涉及一种复合压电衬底及其制备方法。背景技术声表面滤波器,是利用压电材料的压电效应和声表面波传播的物理特性而制成的一种滤波专用器件。声表面滤波器一般包括基于布拉格反射镜的基础结构设计的复合压电衬底,以及,层叠于复合压电衬底上的压电薄膜层,其中,复合压电衬底一般包括交替堆叠的第一衬底层和第二衬底层,第一衬底层和第二衬底层具有不同的声抗阻,压电薄膜层用于传输声波信号,复合压电衬底用于防止声波信号的泄露。现有技术中,一般采用沉积法制备复合压电衬底,例如在硅衬底上交替沉积...
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