技术编号：22624092
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一维距离测量技术领域，特别是涉及一种微谐振腔光学频率梳相位法测量系统。技术背景一维距离测量技术在工业装配、航空航天、工业零部件生产等领域有着广泛的应用，传统的一维距离激光测量技术主要分为以下几方面：利用激光的飞行时间计算距离的飞行时间法；利用参考光和测量光进行干涉计算距离的干涉法；通过被测光的相位来计算距离的相位法。由于受到探测器响应时间的限制，飞行时间法适用于测量精度要求较低的测量场合；由于光干涉信号的周期性，干涉法无法进行距离的绝对测量；相位法由于传统激光的频率较高，而相位分辨力又...
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