技术编号:22636270
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架。背景技术在半导体制造生产的过程中往往需要用到各类的特种气体,特种气体在工业化生产中通常是通过管道来输运,特别是对于管道架空处的位置往往需要使用支撑架来对管道进行支撑固定。但是目前的管道支撑架适用性较差,运输管道需要支撑的位置高度以及管道角度都可能不同,目前功能较为单一的支撑架面对这种情况时往往很难对管道平齐的固定,容易对管道造成损伤且支撑固定效果较差。发明内容本实用新型的目的是为了解决现有技术中支撑架功能较为单一,...
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