技术编号：22681220
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路制造工艺虚拟仿真训练平台。背景技术现有的教学方式中，学生利用教材学习集成电路制造工艺、技术、实操等内容。一些实际操作及芯片测试项目，通常采用现场集成电路设备实操进行训练，或者实训室自购设备供学生训练。然而现有的这种方式存在以下缺陷：供给大量学员的实操设备较少，往往只能做示范操作，给予学生的动手机会很少。对于一些较抽象的内容难以贴近产业工厂，导致学生的积极主动性不足。教师所面对几十位或较多位学生，难以进行一一指导。设备通常庞大且昂贵，场地有限。某些故障点无法完全在实训室内复现...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。