技术编号:22740148
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传输设备技术领域,特别是涉及一种传输装置。背景技术板式pecvd(plasmaenhancedchemicalvaperdeposition,等离子体增强型化学气相沉积)设备是晶体硅太阳能perc电池(passivatedemitterandrearcell,发射极和背面钝化电池)生产的主要核心设备,尤其是从2015年开始解决掉量产电池可靠性问题之后,perc电池成为晶硅高效太阳能电池的主流,在perc电池的工艺路线中,采用板式pecvd设备进行氧化铝工艺制备是最成熟的方式。板式pec...
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