技术编号:22864214
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅芯制备技术领域,具体领域为一种提高硅芯结晶速度的装置。背景技术多晶硅产业是战略性产业,多晶硅材料支撑了半导体材料工业,而半导体材料工业直接关系到微电子产业、电力电子产业以及光伏产业产生的发展速度,硅芯的制备工艺主要包括区熔法和切割法,其中区熔法使用较为广泛,其通过利用还原炉制备一定直径的沉积棒作为原料棒,然后将原料棒通过区熔工艺拉制成具有一定直径和长度的圆形硅芯,硅芯在拉制过程中,籽晶通过籽晶夹头夹持,待高频线圈将原料棒的上端头融化后,籽晶夹头带动籽晶下降直至穿过高频线圈的拉制孔...
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