技术编号:22974153
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体材料制备技术领域,涉及一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构。背景技术在温度测量中,热电偶的应用极为广泛,它具有结构简单、制造方便、测量范围广、精度高、惯性小和输出信号便于远传等许多优点,另外,由于热电偶是一种无源传感器,测量时不需外加电源,使用十分方便,所以常被用作测量炉子、管道内的气体或液体的温度及固体的表面温度。在利用高压单晶炉进行晶体合成时,为了更好的了解不同的温度参数下,所得到晶体的数据差异性,经常需要运用热电偶进行温度监控,而目前的高压单晶炉内的热电偶设备,其导...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。