技术编号:23009517
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密测量领域,具体涉及一种小型化、易集成、低成本的半导体激光器主动波长稳定方法。背景技术激光干涉仪由于其测量精度高、测量速度快等特点,常被用作纳米定位平台的位移反馈装置。目前市场上商用激光干涉仪都使用氦氖激光器产生激光,整体体积较大,无法集成在纳米定位平台上。半导体激光器由于其体积小、易集成、价格低等特点,常被用作为小型激光干涉仪的光源。例如,用作纳米定位平台位移反馈装置的光源。激光干涉仪在测量过程以激光器输出波长为测量基准。由于温度、机械振动、放电电流、空气扰动等环境因素的变化,会导...
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