技术编号:2302457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种圆片贴片机,尤指一种圆片贴片机中可精准定位的切断机构。背景技术在目前实务作法中,圆片切割或研磨制程之前会进行一圆片贴片步骤(wafer mount),亦即使圆片其中一面能贴附上一胶带,例如蓝膜(blue tape),由此使切割出的晶粒或研磨碎屑黏附在胶带上。在上述制程基础下所用的现有圆片贴片设备主要包括有机台主体、圆片载台、滚筒组及一切断机构,圆片载台与滚筒组皆架设在机台主体上。滚筒组主要是利用一扩张筒使胶带可处于展开并拉紧的状态,利用...
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