技术编号:23062857
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密光学测量工程领域,更具体的,涉及一种基于显微干涉的微球表面形貌大视场测量方法。背景技术传统的表面形貌的测量方法采用逐点扫描的方法进行测量,探测效率低,横向分辨率低,易受环境振动、温湿度变化等影响,容易划伤元件表面。其主要包括各种轮廓仪、原子力显微镜(afm)等。国内最初主要采用原子力显微观测靶丸表面,获得了较为精确的靶丸表面轮廓,但其只能获得靶丸表面的局部信息。光学干涉测量法具有非接触、采样密度高、效率高、精度高等优点,是较为理想的表面形貌检测方法。目前微球全表面形貌光学测量方法主...
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