技术编号:23097013
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微谐振器控制领域,特别涉及一种基于时滞反馈的微谐振器控制系统,属于闭环主动控制系统。背景技术微谐振器是mems器件中的一种典型动态结构,例如射频器件中的微机械谐振天线和微机械滤波器中都含有微谐振器,它可以实现机械能和其他能量的反复转换,所以作为传感器和作动器被广泛应用,如航天工程和国防中的惯性导航、地震探测系统、民用消费电子以及汽车自动驾驶等领域,应用装置有可触控移动浏览界面、以及手机倾角发生变化时图片在横屏和竖屏之间切换跟随适应屏幕,还有计步器、个人惯性导航、防撞击保护器等装置中也使...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。