技术编号：23151619
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种半导体芯片的制造方法。背景技术随着4g/5g应用的普及，消费者对电子产品功能多样化需求大大提高。mems器件作为一种复杂性的元件，用来实现更多功能，在消费类电子应用中起着重要作用。滤波器作为一种选频元件，用来抑制噪声、选择或限定rf/微波信号的频段范围，在许多rf/微波应用中起着重要的作用。传统的mems/滤波器体积大、制造成本高，并且不容易与单片集成电路集成，目前实现高性能、小尺寸、低成本的制造工艺，将进一步契合消费者的需求。发明内容本发明解决的问题是提供一种...
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