技术编号:23231221
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及运动台技术领域,尤其涉及一种运动台及其控制方法。背景技术多轴运动台能够在多个方向上运动,可以实现对工件的运输。例如,在晶圆生产及制造时,可以将多轴运动台运动到装载位,然后在装载位处将晶圆、掩膜版等工件装载到多轴运动台上;还可以将装载有工件的多轴运动台运动到目标位置,然后在目标位置处对工件进行检测或其他操作。生产过程中,如果位置检测部件(例如光栅尺)、驱动部件(例如电机)或其他部件损坏,多轴运动台运动到的实际位置和预设目标位置可能存在较大的偏差,造成在错误的位置处进行诸如上下晶圆、...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。