技术编号：2324445
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本项发明属于微电子 机械系统(MEMS)领域，尤其涉及一种三自由度微操作机器 人。背景技术微操作机器人运动精细，具有亚微米至纳米级的定位分辨率，在精密机械工程、电 子封装、精细化工、光纤对接、生物和遗传工程、材料科学、毫微平面印刷、航空航天等领域 中具有广阔的应用前景。并联机构结构紧凑、运动链短、刚度高和承载能力大等优点使其 适合于作为微操作机器人机构原型。哈尔滨工业大学研制了一台六自由度并联微动机器 人，它是一个Stewart平台的变异结构，北京航空航天...
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