等离子体发生装置和用于等离子体发生装置的控制方法与流程技术资料下载

技术编号:23313032

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本发明涉及等离子体技术领域,具体地涉及一种等离子体发生装置和用于等离子体发生装置的控制方法。背景技术等离子体是由大量处在非束缚状态的带电粒子组成且具有宏观空间和时间尺度的物质体系,是一种具有高活性且整体呈现电中性的物质形态,可广泛用于处理各种废气、废水、固废、危化品等场合,也可用于材料处理、精细化工等领域。为了更好地控制处理过程的安全性和效率,等离子体发生器的可调可控对于等离子体在诸多领域的推广应用极为重要。只有实现了等离子体的可靠调节与控制,才能根据实际需要有针对性地调整等离子体的均匀性、电子...
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