技术编号：23391169
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于弱刚性薄形零件检测技术领域，具体涉及一种精准测量弱刚性薄形零件厚度的装置及方法。背景技术弱刚性薄形零件通常指刚度差、易变形，精度要求高的薄形零件，其口径厚度比值通常大于10:1，关键部位精度要求达到it5-it7级，如玻璃片、铝片、铜片等等，被广泛应用于各种精密制造行业中，例如航空、航天、国防以及高科技民间应用等领域。弱刚性薄形零件由于应力及重力作用从而存在复杂的变形情况，精准测量其厚度较为困难。目前现有的厚度测量方法主要有激光三角法、电容法、射线法等。激光三角法只能测量透明的样品；电...
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