一种MEMS电容式开关及电子设备的制作方法技术资料下载

技术编号:23570761

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【技术领域】本实用新型涉及射频电容技术领域,尤其涉及一种mems电容式开关及电子设备。【背景技术】在rfmems(rf:射频,mems:微机电系统)电容式开关的结构设计中,关/开态电容比和电容密度是评估其rf性能的两项重要指标。目前,现有的rfmems电容式开关通常采用两种技术方案,其一是金属膜桥与电容上极板之间的正对面积可调节,故可根据需要单独对开态和关态电容值进行调节,但该方案需要反复调节才能够得到高关态电容;其二是将电容开关的rf有效电极及活动梁中与有效电极正对的下表面,均设计成弧形,此时...
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