技术编号:23620971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明报告描述了一种在平面基板上相反地磁化永磁材料微结构的方法。本申请涉及微型永磁布置的选择性磁化。背景技术基于具有不同磁取向的结构的永磁布置对于许多技术装置来说是非常重要的。人们对能够将在常规技术领域已经确立的解决方案也应用到微系统上有着广泛的兴趣。这样做的第一个先决条件是,半导体和/或mems技术的典型基板上的硬磁结构或微结构可以由硅和/或玻璃产生。第二个先决条件是,相邻的磁体或微磁体可以按照需要在不同的方向上被磁化,或者可以被相反地磁化。由于基板上可能有数百或数千个mems部件,其中的每个...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。