技术编号：2362185
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种可限位锁止的静电驱动微夹持器所属领域本发明涉及一种可限位锁止的静电驱动微夹持器，用于微操作系统、微小机器人、 微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作，属于微机电系统领域。背景技术微机电系统(MEMQ是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微夹持器是微机电系统的关键组成部分，是沟通宏观与微观世界的基本工具。在精密仪器、生物医学、航空航天及军事领域都有着广泛的应用前景。微夹持器...
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