技术编号:23629234
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容的实施例涉及半导体器件及其制造方法。背景技术集成电路技术允许在硅管芯上创建许多类型的器件。最常见的器件是晶体管、二极管、电阻器或电容器。电容器是在半导体器件中用于存储电荷的元件。电容器包括由绝缘材料分隔的两个导电板。电容器用于诸如电子滤波器、模数转换器、存储器件、控制应用的应用中,以及许多其它类型的半导体器件应用中。在集成片上电容器中已经使用各种类型的电容器设计以降低电容器占用的管芯面积以及增加电容密度,包括例如金属-绝缘体-金属(mim)电容器、金属-氧化物-金属(mom)电容器、金...
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