技术编号:23677185
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及检测机械手技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种多工位检测机械手真空状态的装置。背景技术机械手是一种模仿人类手臂的机器,在生产、检测、搬运等领域有着广泛的应用,而机械手在检测半导体时需要在真空环境下对半导体进行检测,使得通过真空环境下对半导体进行检测提高检测准确度,因此就包括一种多工位检测机械手真空状态的装置。但是其在实际使用真空装置时,仍旧存在一些缺点,如现有装置承压底座的表面都会开设真空孔,并且承压底座的表面安装有密封圈,当在长时间的使用需...
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