技术编号:2371962
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对半导体相关的电子器件或机械部件等工件进行吸 附并移运的吸头装置,尤其涉及从收纳位置对工件进行吸附并取出 的同时对之进行定位并移运至规定位置的吸头装置。背景技术在半导体或其他微小的电子器件等的制造流水线上,作为对象 物的工件(电子器件)由输送带搬运至各种处理工段,并且,由移运 装置从输送带上取出并移运至处理部的规定位置而施行规定的处理。然而,对这种工件(电子器件)而言,由于采用这些工件的制品 的生命周期短暂,因此需要频繁地进行机型的变更。因而,对...
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