技术编号：2372029
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本项发明属于微电子机械系统(MEMS)领域。背景技术 微操作机器人作为微电子机械系统(Micro Electro MechanicalSystem，简称MEMS)研究领域的重要分支，受到国内外学者的高度重视。微操作机器人运动精细，具有亚微米至纳米级的定位分辨率，在精密机械工程、电子封装、精细化工、光纤对接、生物和遗传工程、材料科学、毫微平面印刷、航空航天等领域中具有广阔的应用前景。并联机构结构紧凑、运动链短、刚度高和承载能力大等优点使其适合于作为微操作机器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。