技术编号:23741485
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶硅片技术领域,具体为一种可测量单晶硅片平整度的装置。背景技术重要的半导体材料,化学元素符号si,电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能,硅是产量最大、应用最广的半导体材料,它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平;传统的一种可测量单晶硅片平整度的装置存在以下不足;目前,在对单晶硅片进行生产时需要对单晶硅片的平整度进行测量,而现有的测量方式都是人工进行测量不够快捷。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一...
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