技术编号:2379711
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种拆卸装置,特别是涉及一种用于拆卸沉积设备零部件的拆卸>J-U ρ α装直。背景技术薄膜沉积的方法主要分为物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)和化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)两大类。其中,化学气相沉积(Chemicalvapor deposition, CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面,进而制得固体材料的...
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