技术编号:23799783
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及托盘移送系统中具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统,更详细而言,涉及一种具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统,滚轮单元连结于用于工序间的基板移送的托盘,滚轮单元具备相对于水平面倾斜地附着的引导滚轮,在沿着具有倾斜端面的行驶轨道行驶期间,防止引导滚轮从行驶轨道脱离,可以稳定地行驶。背景技术一般而言,为了制造半导体元件而执行扩散、蚀刻、光刻及清洁工序等。这种各个工序应与之前工序衔接,在各工序完成后,移送到下个工序。现有的滚轮式...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。