技术编号：23847722
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开的实施例总体上涉及光电子学领域，并且更具体地，涉及用于提供硅光波导和输出耦合器的技术和构造。背景技术硅光子学通常被认为是用于成本高效的光电集成的基于平面光子学电路的最流行且成功的技术平台之一。通常在绝缘体上硅(soi)晶圆上制造基于光波导的光子学器件，例如激光器、调制器和检测器。在soi光子系统中，通常将光限制在晶圆(或芯片)平面内。硅波导通常设计为具有亚微米的横截面，从而允许有源和无源器件的密集集成，以实现更高的速度和更低的驱动功率。光模式转换器(omc)通常用于...
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