技术编号：23892155
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学仪器测量技术领域，更具体地，涉及一种穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统。背景技术在科学技术和日常生活中，各种薄膜的应用日益广泛，因此，针对纳米结构薄膜材料的光学参数进行准确和迅速的测量是十分有意义的。基于椭偏测量技术具有测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。其基本原理是通过偏振器件将特殊的椭圆偏振光投射到待测样品表面，通过测量待测样品的反射光，以获得偏振光在反射前后的偏振态变...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。