技术编号：23916666
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空涂层设备的加热领域，特别涉及一种真空涂层设备用模块化加热装置。背景技术真空涂层设备中,通常使用加热器对真空室进行加热,而现有真空涂层设备加热器一般根据真空室内壁形状来进行排布，不同内壁加热器的形状不同，另外密封方式采用正负极分别穿过真空室壁，在真空室外密封的方式，接线方式为螺母压紧独立接线方式。真空涂层一段时间后，加热器的表面会形成很厚一层涂层，需要接下来保养，拆卸比较麻烦，接线也存在一定安全隐患，另外各个位置加热器大小不同，不能互换，做备品也比较麻烦。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。