技术编号：23992205
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。mems器件的制造方法技术领域本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种mems器件的制造方法。背景技术现今微机电系统(micro electromechanical system，mems)是一种重要的半导体器件，微机电系统是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生...
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