技术编号:24009332
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子源技术领域,具体涉及一种片上微型热电子源。背景技术电子源可以为很多真空电子器件和设备提供其工作必不可少的自由电子束,是这些器件和设备的核心元件,已经广泛应用于医疗诊断科学研究等重要领域。在当今人们越来越追求集成化、功耗低、便于携带的今天,电子源也面临着发射性能不稳定、体积大、功耗高和难集成等问题,这也是限制真空电子器件微型化主要瓶颈之一。实用新型内容本实用新型的目的是至少解决现有技术中的电子源体积大、功耗高和难集成等问题。该目的是通过以下技术...
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