多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用的制作方法技术资料下载

技术编号:24055077

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本发明涉及射频微机电系统,具体涉及一种多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用。背景技术未来无线通信系统呈现出集成化、微型化、低功耗、高频率、多模式的发展趋势,应用场景不断拓展,所面临的的外部环境日趋复杂、严苛。高性能射频前端收发系统是无线通信系统的关键。传统射频前端收发系统所采用的射频谐振器件主要包括石英晶振、声表面波(saw)滤波器、薄膜体声波谐振器(fbar)、陶瓷滤波器、电容电感(lc)谐振电路等。然而,上述传统器件在体积、性能、功耗等方面存在诸多限制因素,如陶瓷...
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